日本真空学会 2013年7月研究例会

主題「ガス放出測定の信頼性向上に向けて―求められる国際標準化への対応―」

　材料からのガス放出は，真空システムを設計・製作する上で，基本となる重要なパラメータの1 つです．ガス放出測定は，
1960年代初頭に Redhead によって，昇温脱離法が開発されたことを皮切りに，コンダクタンス変調法，二流路法などの手法
が開発され，1990年代には，概ね測定方法が確立したと考えられます．そして，これらの手法を用いて，実に様々な材料に
対するガス放出測定が行われてきました．
　さて今後，ガス放出測定が高度化・発展するとすれば，どのような方向に向かうのでしょうか．2002年には，アメリカ真空
学会（AVS）によって，「Recommended practice of measuring and reporting outgassing data（推奨されるガス放出データ
の測定・報告方法）」が報告されています．また 現在，ヨーロッパでは，European Metrology Research Programme（欧州計
量研究プログラム），IND12: Vacuum metrology for production environments（生産技術のための真空計量計測）という国際
プロジェクトが進行しており，ガス放出測定法の国際標準化に向け，研究が進められています．これらの目的は，いずれも，
“ガス放出測定の信頼性向上”，即ち，“再現性の良い，比較可能な値として，ガス放出速度や脱離の活性化エネルギーを測定
すること（さらに言えば定量化すること）”を目指すものです．
　我が国には，ガス放出測定について，豊富な知見を有する多くの専門家，測定ノウハウ，膨大なデータの蓄積があります．
この研究会を期に，専門家間の情報交換を活発にして，今後の技術動向や国際標準化の流れに対して，どのように対応してい
くべきかを考えるきっかけとしたいと思います．同時に，これからガス放出測定を行おうとする方々にとって，これまで蓄積
してきた測定・解析手法やノウハウ，測定データを概観できる機会となれば幸いです．

　　　　　　　　　　案内（PDF 169KB）
 
日　　時　2013年7月3日(水)　13:00〜16:50（受付12:30〜）
　　　　　
会　　場　機械振興会館　地下3階 B3-1号室
　　　　　 東京都港区芝公園3-5-8　http://www.jspmi.or.jp/kaigishitsu/access.html
　　　　　 電話03-3431-4395（日本真空学会）
　　　　　　 
　　　　　　 
講演プログラム＜各講演40分（質疑応答込）＞
　開会の挨拶　イントロダクトリートーク　　　　　　（産業技術総合研究所）　吉田 肇　　　　13:30〜13:10

　1. ガス放出測定
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（高エネルギー加速器研究機構）　小林 正典　　　13:10〜13:50

　2. 真空工学とその応用のためのガス放出測定
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（(株)アルバック）　稲吉 さかえ　　13:50〜14:30

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　― 休憩 ―

　3. 鉄鋼分野におけるガス放出測定
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（物質・材料研究機構）　秋山 英二　　　14:45〜15:25

　4. 分析分野におけるガス放出測定
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（電子科学(株)）　平下 紀夫　　　15:25〜16:05

　5. 表面科学におけるガス放出測定
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（東大生研）　小倉 正平　　　16:05〜16:45
　　　

　閉会の挨拶　　　　　　　（日本真空学会　講演・研究会企画委員会委員長）　佐々木 正洋　　16:45〜16:50


参加費（当日会場にてお支払いください）
　　 日本真空学会会員，協賛学協会会員　　2,500円（予稿集代を含む）
　　 非会員　　　　　　　　　　　　　　　3,500円（予稿集代を含む）
　　 学　生　　　　　　　　　　　　　　　無　 料（予稿集500円）


問い合わせ先
　　 一般社団法人 日本真空学会　TEL 03-3431-4395　　FAX 03-3433-5371
　　　　　　　　　　　　　　　  e-mail ofc-vsj@vacuum-jp.org　　URL http://www.vacuum-jp.org

本件担当
　　 一般社団法人 日本真空学会　講演・研究会企画委員会（産業技術総合研究所）　吉田 肇