スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会
第１１２回定例会開催案内
テーマ：「プロセスプラズマの応用・実用化最前線」
　−低圧非平衡から高密度媒体まで−　

　大気圧環境下で作動するプラズマは，近年の精力的な基礎研究と飛躍的な技術発展に
伴って，ストリーマ・コロナ放電による低温プラズマが，簡便に利用できるようになっ
てきました．また，特に新しい電源技術の開発により，大気よりさらに密度の高い液体
中での定常プラズマの生成が実現され，近い将来の工業的応用が期待されています．今
回の定例会では，極めてユニークなプラズマの応用をされている研究者・企業をお招き
し，プロセスプラズマの応用分野をさらに拡大するヒントとなるご講演をいただくとと
もに，新しいプラズマツールである，大気圧下や液中でのプラズマの応用可能性につい
てご講演いただくプログラムを準備いたしました．皆様のご参加を心よりお待ち申し上
げております．

日　　時：平成２１年２月１７日（火）　（受付　12:30−）
場　　所：機械振興会館　B３−６号室（地下３階）
　　　　　東京都港区　芝公園3-5-8（東京タワー前）

　　　　　　　　　　　　　−講演プログラム−　　　　　　　　　　　13:00−16:40

１．LFプラズマジェットを用いた液体のプラズマ滅菌−液中ラジカルの利用と診断−
　　　　　　　　　　　　　　　　　（大阪大学大学院）　北野　勝久　13:00−13:40

２．液中プラズマ利用技術研究（仮題）
　　　　　　　　　　　　　　　　　（愛媛大学大学院）　豊田　洋通　13:40−14:20

３．木質材料・多孔質材料への大気圧プラズマ処理効果
　　　　　　　　　　　　　　　（島根大学総合理工学部）　上原　徹　14:20−15:00

　　　　　　　　　　　　　　　−休　憩−　　　　　　　　　　　　　15:00−15:20

４．DLCの新しい応用，医用材料応用（仮題）
　　　　　　　　　　　（トーヨーエイテック株式会社）　中谷　達行　15:20−16:00

５．眼科用材料へのプラズマ処理の利用
　　　　　　　　　　　　　　　　（株式会社メニコン）　中田　和彦　16:00−16:40


参加費：1.SP部会会員　　　　　　　　　　　　無料
　　　　2.日本真空協会個人会員　　　　　　\23,000
　　　　3.日本真空協会法人会員　　　　　　\18,000
　　　　4.教育機関，公的機関に属する者　　\12,000
　　　　5.学生　　　　　　　　　　　　　　\ 5,000
　　　　6.一般　　　　　　　　　　　　　　\28,000

問い合わせ先：日本真空協会　TEL：03-3431-4395　FAX：03-3433-5371
　　　　　　　　e-mail： ofc-vsj@vacuum-jp.org