近年，プラズマプロセスは著しい発展を遂げ，今なお様々な材料に適用するた
めの新しい技術開発が行われています．その中でナノカーボンやポリマー基材な
ど，ダメージを受けやすい材料を扱わなければならないことが多くなっており，
プロセス中に起こりうるプラズマからの影響を最小限に抑制しなければならない
状況となってきています．今回の定例会では，そのような有機系原材料を扱うプ
ラズマプロセスに携わっておられる第一線の先生方をお招きし，プラズマが有機
系原材料に及ぼす効果や影響，プロセス中に生じるダメージやその低減法などに
ついてご講演いただき，有機系を扱うプラズマプロセスを理解し，新規に応用す
る上でのヒントとなるプログラムをご用意いたしました．皆様のご参加を心より
お待ち申し上げております．

日　時：平成21年5月28日（木）（受付12:30〜）
場　所：JST イノベーションプラザ東海
　　　　〒457-0063 名古屋市南区阿原町23番1号
　　　　TEL:052-829-3160 FAX:052-829-3161


　　　　　　　　　　　　-講演プログラム-　　　　　　　　　　13:00〜15:30

1. プラズマCVD 装置における電子密度・電子温度計測
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（中部大学）中村圭二　13:00〜13:35

2. 新規ナノカーボン形成におけるプラズマの効果
　　　　　　　　　　　　　　　　（東北大学大学院）金子俊郎　13:35〜14:10

　　　　　　　　　　　　　　　-休憩-　　　　　　　　　　　　14:10〜14:20

3. プラズマを用いた有機材料薄膜堆積
　　　　　　　　　　　　　　　（日本電気株式会社）木下啓藏　14:20〜14:55

4. 硬化処理による多層レジストのエッチング耐性の改善
　　　　　　　　　　（株式会社ルネサステクノロジ）田所昌洋　14:55〜15:30


見学会研究会終了後，JST イノベーションプラザ東海に設置されている様々な大
学の先進的な設備等の見学会を行う予定です．

参加費：1.SP部会会員　　　　　　　　　　　　無料
　　　　2.日本真空協会個人会員　　　　　　\23,000
　　　　3.日本真空協会法人会員　　　　　　\18,000
　　　　4.教育機関，公的機関に属する者　　\12,000
　　　　5.学生　　　　　　　　　　　　　　\ 5,000
　　　　6.一般　　　　　　　　　　　　　　\28,000

問い合わせ先：日本真空協会　TEL：03-3431-4395　FAX：03-3433-5371
　　　　　　　　e-mail： ofc-vsj@vacuum-jp.org