スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第118回定例研究会

　宇宙環境あるいは極限環境において使用される材料の機能化において，薄膜や
プラズマの果たす役割には大きなものがあるとともに，この分野は，今後我が国
が，BRICSなどとの差別化を図りながら，独自性を発揮して技術開発を担っていく
分野でもあります．スパッタリング及びプラズマプロセス技術部会第１１７回定
例会は，今後のさらなるスパッタリングおよびプラズマプロセス技術の発展に寄
与する宇宙および航空開発の最前線について知見を得ることを目的として，独立
行政法人宇宙航空研究開発機構JAXAを訪ねたいと思います．独立行政法人宇宙航
空研究開発機構の宮崎先生および川崎先生からお話をいただくとともに，見学会
をも開催します．また，今話題のパナソニック電工「ナノイー」の開発について，
TVコマーシャルにおいても活躍中の山内氏よりお話をいただきます．多数の皆様
が参加され，スパッタリングおよびプラズマプロセス分野のさらなる発展のキッ
カケとなる知見を得られることを期待いたします．

日　　時：平成22年 5月19日（水)　12:30-17:30 (受付 12:00〜)
            集合時間12:30を厳守してください．

場　　所：独立行政法人宇宙航空研究開発機構
　　　　　研究開発棟（建物番号S-6）4階第1会議室

講演プログラム：

(1)独立行政法人宇宙航空研究開発機構筑波宇宙センター　全体見学
                                                               12:40-14:15

(2)独立行政法人宇宙航空研究開発機構筑波宇宙センター　材料部門見学
                                                               14:15-15:00

(3)「宇宙用材料に求められる特性と評価法」
   独立行政法人宇宙航空研究開発機構 研究開発本部 宮崎 英治氏   15:10-15:45

(4)「宇宙エレクトロニクス分野における半導体デバイス・
      集積回路もの作りについて」
   独立行政法人宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究所 川崎 繁男氏 15:45-16:20

(5)「静電霧化技術による室内空気環境浄化技術」
   パナソニック電工株式会社　電器Ｒ＆Ｄセンター　山内　俊幸氏  16:20-16:55


参加費：1.SP部会会員　　　　　　　　　　　　無料
　　　　2.日本真空協会個人会員　　　　　　\23,000
　　　　3.日本真空協会法人会員　　　　　　\18,000
　　　　4.教育機関，公的機関に属する者    \12,000
　　　　5.学生　　　　　　　　　　　　　　\ 5,000
　　　　6.一般　　　　　　　　　　　　　　\28,000

問合せ先：日本真空協会　TEL：03-3431-4395，FAX：03-3433-5371
       　　　　　　　　　e-mail：ofc-vsj@vacuum-jp.org