産業部会は，真空技術に関する多様な情報を紹介することを目的として活動を続けております．
１０月定例部会のプログラムをお知らせいたします．定例部会終了後には，毎回恒例となっております講師を
囲んでの懇親会を開催いたします．さらに深く突っ込んだディスカッションや情報交換の場としてご活用ください．
多数のご参加をお待ち申し上げます．

日　時：平成22年10月21日（木）14:00〜16:30
場　所：機械振興会館B3-1 号室（地下3 階）
参加費：無料

　　　　　　　　　　　　　　　ープログラムー

開会挨拶　　　　　　　　　（日本真空協会　産業部会長）　土岐和之　14:00〜14:10

１．金属ナノ粒子のプラズマ還元焼成による配線形成技術
　　（大日本印刷株式会社 ナノサイエンス研究センター）　北條　美貴子　14:10〜14:40

　［講演要旨］

印刷技術を用いた配線形成技術は， 電子部品などの製造分野において， プリンテッド
エレクトロニクス技術と呼ばれ、近年注目されている．本講演では，金属ナノ粒子インク
とマイクロ波表面波プラズマを用いて， プラスチックフィルムへ配線形成を行う新しい
配線形成技術について紹介する．


　　　　　　　　　　　　　　　　　休　　憩


２．反応性プラズマプロセスにおけるボトムアップ式微細構造形成技術
　　　（千葉工業大学 工学部 機械サイエンス学科　教授）　井上　泰志　15:30〜16:30
［講演要旨］

リソグラフィによる「トップダウン式」微細加工技術は，主に半導体産業において
飛躍的に発展したが，適用可能な材料・条件の制約が厳しく，特に化合物材料への
適用に関して十分に研究開発が進んでいない．本講演では，化合物材料のナノ微細
構造形成を，反応性プラズマプロセスにより「ボトムアップ式」に実現した研究成果
を紹介する．



　講演終了後，講師をお招きして懇親会（会費2,000円）を開催します．講師への質問，相互の情報交換等，
有意義なディスカッションができますので，こちらにも多数ご参加下さい．
なお，参加ご希望の方は準備の都合上、事前に事務局宛ご連絡頂きますようお願いいたします．


◎次回の開催予定：平成22年12月9日（木）

申込み・問合せ先：日本真空協会　事務局
　　　　　　　　　〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
　　　　　　　　　TEL:03-3431-4395　FAX:03-3433-5371
　　　　　　　　　E-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org