スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)
第122回定例研究会
テーマ:「ハードマテリアルに関する最近の動向」

 非常に高い硬度を有する「ハードマテリアル」によるコーティングは、さまざま
な工業製品の長寿命化に必要不可欠です。中でも、近年の資源供給不安の問題から、
レアメタルを使用した製品に対するハードコーティングが注目を集めています。
例えば、切削工具や金型等の超硬合金で使用されているタングステンもレアメタル
の1つであり、タングステン使用量低減技術の開発が切望されています。本研究会
では、環境・資源問題という観点からも、注目度がますます高まりつつあるハード
マテリアルに関する最近の動向を紹介するべく、第一線でご活躍の皆様を講師とし
てお招きしました。本研究会に多数の方が参加され、スパッタリングおよびプラズ
マプロセス分野の更なる発展に繋がる知見を得られることを期待致します。皆様の
ご参加を心よりお待ち申し上げております。

日  時:平成23年3月10日(木) 13:00〜16:40 (受付 12:30〜)
場  所:機械振興会館 B3-1号室(地下3階)
     東京都港区芝公園3-5-8

講演プログラム

「フィルタードアーク蒸着とスーパーハードDLC膜」 
           (豊橋技術科学大学) 滝川 浩史 13:00〜13:40

「日本ITFにおけるDLCの開発事例とその応用」 
       (日本アイ・ティ・エフ(株)) 辻岡 正憲 13:40〜14:20

「立方晶窒化ホウ素膜のプラズマCVD合成と応用」 
               (九州大学) 堤井 君元 14:20〜15:00

           ― 休憩 ―            15:00〜15:20

「パルスプラズマによるDLC成膜とその特性評価」 
             (東京工業大学) 大竹 尚登 15:20〜16:00

「PVDによる硬質膜形成とその工業的応用」 
     (日本コーティングセンター(株)) 川名 淳雄 16:00〜16:40


参加費:1.SP部会会員            無料
    2.日本真空協会個人会員      \23,000
    3.日本真空協会法人会員      \18,000
    4.教育機関,公的機関に属する者  \12,000
    5.学生              \ 5,000
    6.一般              \28,000

問合せ先:日本真空協会 TEL:03-3431-4395,FAX:03-3433-5371
      e-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org