産業部会は年6回，産業界と大学・研究機関から講師をお招きして講演会（例会）を開催しています．
　今回の例会は，企業経営のトップお二人と，本年３月例会でご講演を予定し，大震災，原発事故等で
　延期致しました神原先生のご講演です．本年最後の例会に多数の皆様のご参加をお待ち申し上げます．

　日　時：平成23(2011)年12月7日（水）14:00〜16:30
　場　所：機械振興会館（芝公園）B3-2号室（地下3階）
　参加費：無料

　　　　　　　　　　　　　　　　−プログラム−

　開会挨拶　　　　　　　　　　　　　　 （日本真空協会　産業部会長）　土岐　和之　14:00〜14:10

　１．熟年ベンチャーの挑戦　〜真空材料のアルミ銅合金との出会い〜
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 （立新エンジニアリング　代表）　林　雄造　14:10〜14:40

　　［講演要旨］

　立新エンジニアリングのこれまでの軌跡と，その過程で出会った 極高真空用材料として期待されるアルミ銅
　合金について，ほぼ一般の材料（SUS, Al, Ti材）と同等な溶接構造の真空容器等を製作する目途が立ったの
　で，その製作事例を紹介する．


　２．循環精製装置＆グローブボックスの概要とその市場の動向
　　　　　　　　　　　　　　　　 （(株)飯島機械製作所　代表取締役）　飯島　章男　14:40〜15:10

　　［講演要旨］

　循環精製装置＆グローブボックスの需要は急速に伸びてきており．多数のメーカから多種多様な装置が販売さ
　れている。しかし何処まで露点を下げる事が出来るのか，作業環境の露点は何処でまで下げる事が出来，維持
　できるのかと言う事は余り知られていないので装置の概要と市場の動向を解説する．


　　　　　　　　　　　　　　　　　　休　　憩


　３．メゾプラズマを用いたウエハ等価高速厚膜化技術
   　（東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻 准教授）神原　淳（まこと）　15:30〜16:30

　　［講演要旨］

　中間的な圧力領域にあるプラズマは，低圧プラズマと熱プラズマの特徴を兼ね備え，堆積技術応用に際しては，
　一見相反する低温度・高速堆積と薄膜品質を両立するプロセスと期待されます．このメゾプラズマを利用した，
　高速エピタキシャル技術の特徴と，新たな太陽電池を目指したウエハ等価厚膜シリコン開発に関する研究を紹介
　します．



　　講演終了後，講師をお招きして懇親会（会費3,000円）を開催します．講師への質問，相互の情報交換
　等，有意義なディスカッションができますので，こちらにも多数ご参加下さい．
　なお，例会，懇親会に参加ご希望の方は，準備の都合上，事前に事務局宛ご連絡頂きますようお願いいた
　します．

　申込み・問合せ先：一般社団法人 日本真空協会　事務局
　　　　　　　　　　〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
　　　　　　　　　　TEL:03-3431-4395　FAX:03-3433-5371
　　　　　　　　　　E-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org