スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第８回技術交流会・ 第126回定例研究会
SP部会では，会員相互の技術情報交換の場を提供するために，技術交流会を
企画しています．毎回ご好評をいただいており，今年で８回目となります．ショ
ートプレゼンテーションとポスター発表をあわせた形とし，かつポスターセッ
ションは懇親を兼ねる形といたします．通常の定例研究会では，会員相互が
情報を交換する機会がなかなかなく，せっかく同じ部会に所属していることの
メリットを十分に活かせておりませんでした．この技術交流会を機会に是非
会員相互で有益な技術情報を交換していただき，会員各社のさらなる技術的
発展につながればと考えております．また，ショートプレゼンテーションに
先立って，第１２６回定例研究会として2件の技術講演を企画しております．
部会員以外の方の参加も歓迎いたします．皆様の奮ってのご参加をお待ち
しております．
日 時：平成23年12月8日（木） 13:00-18:30
場 所：機械振興会館 B3-研修2号室（地下３階）
東京都港区芝公園3-5-8（東京タワー前）
－プログラム－
定例研究会
(1) 水晶振動子センサー計測によるプラズマ診断
(産業技術総合研究所 計測フロンティア研究部門) 鈴木 淳 13:00-13:40
(2) レーザー散乱法を用いたプラズマ計測
(九州大学大学院 総合理工学研究院)
富田 健太郎、山形 幸彦、内野 喜一郎 13:40-14:20
－休憩－
技術交流会
(3) ショートプレゼンテーション（8分程度×15件予定） 14:40-16:40
(4) ポスターセッション 17:00-18:30
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ショートプレゼンテーション（およびポスター）の発表を募集いたします．
内容については特に制限を設けません．新製品の宣伝的な内容等でも結構です．
また，研究機関等にご所属の方の研究紹介も結構です．
発表を希望される方は，以下の期日で日本真空協会へお申し込みください．
- 発表申込 １１月８日（火）まで（それ以後はお問合せください）
- アブストラクト（Ａ４用紙1枚）提出 １１月２４日（木）まで
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第1-7回ポスター発表参加者：秋田県産業技術総合研究センター、
旭硝子㈱、アルバックテクノ㈱、イーグル工業㈱、AGCセラミックス㈱、
㈱大阪真空機器製作所、大阪大学、オリンパス㈱、金沢工業大学、キヤノン㈱、
キヤノンアネルバ㈱、キヤノンアネルバエンジニアリング㈱、キヤノン
アネルバテクニクス㈱、京都大学、芝浦メカトロニクス㈱、㈱シンクロン、
助川電気工業㈱、㈱スピネット、成蹊大学、大亜真空㈱、千葉工業大学、
中部大学、東海大学、東京大学、東洋大学、名古屋大学、㈱日鉱マテリアルズ、
日本真空光学㈱、日本ビクター㈱、㈱ブリジストン、平和電源㈱、ペガサス
ソフトウエア㈱、法政大学、都城工業高等専門学校、㈱村田製作所（敬称略）
参加費：1.SP部会会員 無料
2.日本真空協会個人会員 \23,000
3.日本真空協会法人会員 \18,000
4.教育機関，公的機関に属する者 \12,000
5.学生 \ 5,000
6.一般 \28,000
申込み・問合せ先：一般社団法人 日本真空協会 TEL：03-3431-4395，FAX：03-3433-5371
e-mail：ofc-vsj@vacuum-jp.org
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