スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第127回定例研究会
テーマ：「ナノを観る」

　ナノテクノロジー全盛の現代，ナノレベルで構造や組成を解析する技術は日進月歩
の発展をとげています．スパッタリングを始めとした様々な手法で作製した薄膜の物
性と，構造・組成の相関を明らかにすることは，研究開発のみならず応用を考える上
でも非常に重要なことは言うまでもありません．材料，デバイスの高機能化が進むに
つれ，解析にもナノレベルの分解能が求められるようになり，優れた分析技術が開発
されています．今回，薄膜を中心とした分析評価に関する最近の動向を紹介するべく，
第一線でご活躍の皆様を講師としてお招きしました．本研究会に多数の方が参加され，
スパッタリングおよびプラズマプロセス分野の更なる発展に繋がる知見を得られるこ
とを期待致します．皆様のご参加を心よりお待ち申し上げております．

日　　時：平成24年3月8日（木）　13:00〜16:40 (受付 12:30〜)
場　　所：機械振興会館　B3-2号室（地下3 階）
　　　　　東京都港区芝公園3-5-8

講演プログラム:

「超低加速・超高分解能FE-SEMが拓くナノ表面分析の新たな世界」　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　（慶応大学）　清水　健一　13:00〜13:40

「球面収差補正顕微鏡を用いた原子スケール構造解析」　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　（大阪大学）　大島　義文　13:40〜14:20

「高分解能RBS法による表面・界面のナノスケール深さ方向分析」　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（京都大学）　中嶋　薫　14:20〜15:00

　　　　　　　　　　　　　―　休憩　―　　　　　　　　　　　  15:00〜15:20

「薄膜の力学特性評価」　
　　　　　　（オミクロンナノテクノロジージャパン）　大岩　烈　15:20〜16:00

「超高速パルス光加熱による薄膜熱物性測定」　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（産総研）　馬場　哲也　16:00〜16:40


参加費：1.SP部会員　　　　　　　　　　　　　無料
　　　　2.日本真空協会個人会員　　　　　　\23,000
　　　　3.日本真空協会法人会員　　　　　　\18,000
　　　　4.教育機関，公的機関に属する者　　\12,000
　　　　5.学生　　　　　　　　　　　　　　\ 5,000
　　　　6.一般　　　　　　　　　　　　　　\28,000

問合せ先：一般社団法人日本真空協会　TEL：03-3431-4395，FAX：03-3433-5371
　　　　　　　　　　　　　　　　　　 e-mail：ofc-vsj@vacuum-jp.org