スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第128回定例研究会
共催：日本真空学会東海支部
テーマ：『高密度媒体プラズマの最前線〜何ができる？何ができない？〜』

　近年，大気圧の気体中や液中など，高密度媒体中で生成されるプラズマについての
基礎的研究が進むとともに，電源・電極等の装置開発が精力的に展開され，高密度媒
体プラズマがさまざまな分野で利用されるようになりつつあります．従来の低温・非
平衡プラズマプロセスと比較してどのような特徴があるのか，また，高密度媒体プラ
ズマプロセスによって，現時点でどのようなことが可能で，どのようなことが実現し
ていないのか，応用事例に焦点を絞り，第一線でご活躍の方々を講師としてお招きし
ました．本研究会に多数の方が参加され，スパッタリングおよびプラズマプロセス分
野の更なる発展につながる知見が得られることを期待します．
　なお，今回は今年度より活動を開始した日本真空学会東海支部との共催で開催いた
します．そのため，多くの方々に聴講していただけるように参加費を設定しておりま
す．皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます．

日　　時：平成24年5月29日（火）　13:00〜17:30 (受付 12:30〜)
場　　所：名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリ3階　ベンチャーホール
　　　　　名古屋市千種区不老町

講演プログラム:

 開会挨拶　　　　　　 SP部会長 井上泰志，東海支部長 財満鎭明　13:00〜13:10

「高密度媒体プラズマ概説」(仮題)　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　（京都大学）　酒井　　道　13:10〜14:00

「大気圧プラズマの表面処理応用」(仮題)　
　　　　　　　　　　　　（エア・ウォーター(株)）　澤田　康志　14:00〜14:50

　　　　　　　　　　　　　―　休憩　―　　　　　　　　　　　　14:50〜15:00

「大気圧プラズマの再生医療応用」(仮題)　
　　　　　　　　　　　　　　　　（東京都市大学）　平田　孝道　15:00〜15:50

「大気圧プラズマの医工系材料応用」(仮題)　
　　　　　　　　　　　　　　　　　（名古屋大学）　黒田　健介　15:50〜16:40

「ソリューションプラズマの応用展望」(仮題)　
　　　　　　　　　　　　　　　　　（名古屋大学）　齋藤　永宏　16:40〜17:30


研究会終了後，交流会を開催いたします（17：30〜19：30，参加費別途）．


参加費：1.SP部会員　　　　　　　　　　　　　　　　　無料
　　　　2.日本真空学会東海支部個人・法人会員　　　\ 1,000（資料代のみ）
　　　　3.日本真空学会個人・法人会員　　　　　　　\ 3,000
　　　　4.教育機関，公的機関に属する者　　　　　　\10,000
　　　　5.一般　　　　　　　　　　　　　　　　　　\20,000
　　　　6.学生　　　　　　　　　　　　　　　　　　\ 1,000（資料代のみ）


問合せ先：一般社団法人日本真空協会　TEL：03-3431-4395，FAX：03-3433-5371
　　　　　　　　　　　　　　　　　　 e-mail：ofc-vsj@vacuum-jp.org