スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第129回定例研究会
テーマ：『広がるコーティング技術』

　薄膜コーティング技術は，薄膜自身の多様な機能性や機材と薄膜の複合効果の有用
性から産業の幅広い分野へと浸透しています．本研究会では，コーティング技術の広
がりを感じさせるテーマとして，プラスチックを材料とするスパッタコーティング薄
膜のセンサ応用や有機系薄膜のデバイス応用，酸化膜センサの触覚センサ応用および
MEMS用薄膜加工技術といった現在進展中のトピックスを取り上げ，第一線でご活躍の
先生方を講師としてお招きしました．本研究会に多数の方が参加され，スパッタリン
グおよびプラズマプロセス分野の更なる発展につながる知見が得られることを期待し
ます．皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます．

日　　時：平成24年8月2日（木）　13:00〜16:45 (受付 12:30〜)
場　　所：機械振興会館 B3-6号室（地下3階）
　　　　　 東京都港区芝公園3-5-8

講演プログラム:

「ドライ＆ウェットプロセスをクロスブリードした結晶層コーティングの新提案」　
　　　　　　　　　　（信州大学）　手嶋勝弥，我田元，大石修治　　13:10〜13:50
　※平成24年度SP部会賞の該当が無かったために追加となった講演です．

「プラスチックを用いてスパッタリングにより作製した機能性有機薄膜」　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　（東海大学）　岩森　暁　　　13:50〜14:30

「物理蒸着法による高分子薄膜形成とデバイス応用」　
　　　　　　　　　　　　　　　　（東京農工大学）　臼井　博明　　14:30〜15:10

　　　　　　　　　　　　　―　休憩　―　　　　　　　　　　　　　15:10〜15:20

「酸化クロム薄膜ひずみゲージを用いた柔軟な四軸触覚センサの開発」　
　（大阪府立産業技術総合研究所）松永崇,小栗泰造，日下忠興，筧芳治，岡本昭夫
　　　　　　　　　　　　　　　　佐藤和郎，山元和彦，吉竹正明　　15:25〜16:05

「イオン注入装置を使った薄膜立体化技術」　
　　　　　　　　　　　　　（産業技術総合研究所）　吉田　知也　　16:05〜16:45


参加費：1.SP部会員　　　　　　　　　　　　　　　　無　料
　　　　2.日本真空学会個人会員　　　　　　　　　　\23,000
　　　　3.日本真空学会法人会員　　　　　　　　　　\18,000
　　　　4.教育機関，公的機関に属する者　　　　　　\12,000
　　　　5.学生　　　　　　　　　　　　　　　　　　\ 5,000
　　　　6.一般　　　　　　　　　　　　　　　　　　\28,000


問合せ先：一般社団法人 日本真空学会　TEL：03-3431-4395，FAX：03-3433-5371
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　e-mail：ofc-vsj@vacuum-jp.org