産学連携委員会の3月例会は，平成24年度 第37回真空技術賞を受賞した新規な環境制御型透過電子顕微鏡（ETEM）
　の開発とその応用に関するご講演と、光学薄膜の膜質に大きく影響する“散乱”について成膜プロセスの観点からの
　ご講演です。皆さま多数のご参加をお待ち申し上げます．


　日　時：平成 25（2013）年 3 月 6 日（水）14:00〜16:30
　場　所：機械振興会館（芝公園）　B1−2号室（地下1階）
　参加費：無料

　　　　　　　　　　　　　　　　　　−プログラム−

　開会挨拶　　　　　　　　　　　　　　 （日本真空学会　産学連携委員会委員長）　土岐　和之　14:00〜14:10

　1.環境制御型透過電子顕微鏡(ETEM)を用いたナノ材料反応過程の直接観察
　　 （(株)日立ハイテクノロジーズ　科学・医用システム事業統括本部　主任技師）　矢口　紀恵　14:10〜15:10

　　［講演要旨］

　　エネルギー関連分野では材料合成メカニズムの解析を目的として、試料の周囲に気体や液体を充たして電子顕微鏡
　観察するニーズが増加しています。
　本報告では、加熱・ガス雰囲気下における微粒子の表面、界面、内部の構造変化過程の動的観察が可能なETEM技術と
　その応用例を紹介します。
　（ETEM：Environmental Transmission Electron Microscope）


　　　　　　　　　　　　　　　　　　休　　憩（15:10〜15:30）

　2.光学薄膜の外観品質
　　　　　　　　　　　　　　　 （東海大学　工学部　光・画像工学科　主任教授）　室谷　裕志　15:30〜16:30

　　［講演要旨］

　　光学薄膜の分光特性に関しては，真空装置の進歩と成膜プロセスの改善により，要求仕様に対して高精度なものが
　作製できるようになってきました．しかし，外観品質，特に散乱に関しては，成膜装置だけでなく成膜プロセス全体
　が影響する問題であり，まだ多くの課題を持っています．この外観品質について成膜プロセスの影響を中心に報告い
　たします．


　講演終了後，講師をお招きして交流会（会費２,000円）を開催します．講師への質問，相互の情報交換等，有意義な
　ディスカッションができますので，こちらにも多数ご参加下さい．
　なお，例会，懇親会に参加ご希望の方は準備の都合上，事前に事務局宛ご連絡頂きますようお願いいたします．


　申込み・問合せ先：一般社団法人 日本真空学会　事務局
　　　　　　　　　　〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
　　　　　　　　　　TEL:03-3431-4395　FAX:03-3433-5371
　　　　　　　　　　E-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org