日本真空学会 2015年6月研究例会

主題「低真空・中真空計測の最新動向」

低真空・中真空領域（100 kPa～0.1 Pa）の真空技術は，各種CVDやプラズマ処理を利用した半導体産業を始め，自動車，化学・医薬品，電機・電子，製紙・印刷，食品，機械など，幅広い産業分野において，成形，注入，含浸，脱水，濃縮，乾燥，吸着搬送，包装など幅広い用途に利用されています．低真空・中真空の計測技術は，これら分野の研究開発や、生産現場における品質管理を行う上で、重要な役割を担っております．低真空・中真空を計測する真空計には，弾性真空計（隔膜真空計など），熱伝導真空計（ピラニ真空計など），粘性真空計（スピニングロータ真空計やクリスタル真空計）などがあり，それぞれの特徴を良く理解して，真空計を選定し，利用することが重要です．
そこで今回は，低真空・中真空計測の基本原理を振り返るとともに，隔膜真空計，熱伝導真空計，粘性真空計を開発・製造しているメーカ各社から，新技術した利用した各種真空計や計測技術について，ご講演頂きます．本研究会が，低真空・中真空計測における，現在の課題や近未来に求められる技術について議論する機会となることを願っております．

案内（PDF 145KB）

開会の挨拶 　　イントロダクトリートーク

（産業技術総合研究所）吉田　肇　　11:00～11:05

1. 低真空・中真空計測の原理

（産業技術総合研究所）平田 正紘　　11:05～11:45

― 休憩 ―

　2. The latest performance of low pressure sensors, direct and indirect gauges

（日本エム・ケー・エス㈱）Timothy Piwonka　　12:50～13:15

3. The latest innovations in industrial vacuum measurement

（インフィコン㈱）Carsten Strietzel　　13:15～13:40

4. M-342DGキャパシタンスゲージ

（キヤノンアネルバ㈱）宮下 冶三　　13:40～14:05

5. サファイア隔膜真空計の開発と製品の特長

（アズビル㈱）吉川 康秀　　14:05～14:30

6. 隔膜式絶対圧センサの現状と次世代センサ

（㈱テムテック研究所）相澤 満芳　　14:30～14:55

― 休憩 ―

7. ピエゾ型隔膜真空計の特長

（大亜真空㈱）高宮 祐二　　15:10～15:35

8. クリスタルゲージ/ CC ゲージ複合 ワイドレンジ真空計の特性

（東京電子㈱）黒岩 雅英，（VISTA㈱）大迫 信治　　15:35～16:00

9. マイクロハクマク圧力センサを用いたチャンバ内圧力分布計測の実例

（㈱岡野製作所）田尻 修一　　16:00～16:25

10. 真空計測におけるJCSSへの取り組み・・・・「誤差」から「トレサビリティ」と「不確かさ」へ

（㈱アルバック）吉澤 秀樹　　16:25～16:50

挨拶

（日本真空学会　講演・研究会企画委員会委員長）中村 健 　　16:50～16:55

技術交流会（ポスターセッション）

17:00～18:50

参加費（事前にお申込みの上，当日会場にてお支払いください）

申し込み・問い合わせ先
一般社団法人 日本真空学会
TEL 03-3431-4395　　FAX 03-3433-5371
E-mail ofc-vsj@vacuum-jp.org　　URL http://www.vacuum-jp.org

本件担当
一般社団法人 日本真空学会　講演・研究会企画委員会
（産業技術総合研究所）吉田　肇， （キヤノンアネルバ㈱）中村 恵