「Journal of the Vacuum Society of Japan」誌
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部会

スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会

細則に記された活動目的は以下の通りです. 第１６条 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会は，スパッタリ […]

機能薄膜部会

細則に記された活動目的は以下の通りです. 第１７条 機能薄膜部会は，機能性を有する薄膜に関し，特に真空との関連 […]

真空技術調査部会

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