日本真空学会 2015年11月研究例会

主題「プラズマ励起プロセスを用いた表面改質の基礎と応用」

併催　2015年真空に関する研究発表会

  機能性材料の作製には励起状態にある活性な化学種の生成とその評価及び材料プロセスへの適切な応用が重要であり，これまで多種多様な活性種の制御技術の研究開発が進められてきました．気体が正負の荷電粒子に電離した状態であるプラズマは，活性種を供給するための典型的な手法を提供していますが，その応用の成果は材料の力学的特性の改善から新たな電子デバイス機能の創出まで広範かつ多面的です．本研究例会では，材料の励起プロセスの基盤である真空の役割を再考した上で，表面改質やそれを踏まえた薄膜作製を通じて材料機能の高度化への要求にプラズマがどう応えるのかを考えてみたいと思います．また本例会では一般講演のポスターセッションを併催し，主題を支える基盤技術である真空及び関連する研究分野との技術交流も図ります．皆様の参加をお待ちしております．

 
　　講演プログラム　＜各講演40分（質疑応答込）＞
　　開会の挨拶 　                                                                 （広島工業大学）　田中　武 13：00～13：05
　　1. 機能性材料の励起プロセスと真空技術                      （大島商船高等専門学校） 高橋 主人 13：05～13：45

　　閉会の挨拶                                                             （産業技術総合研究所）中村 健　17：25～17：30
　　懇親会　（予定）
 
 
　参加費　（当日会場にてお支払いください．「2015年真空に関する研究発表会参加費」を含みます．）

 
　申込方法　申込みは終了しました．
 

　問合せ先　一般社団法人 日本真空学会　TEL：03-3431-4395，FAX：03-3433-5371
　                                                e-mail：ofc-vsj@vacuum-jp.org

　本件担当
　　一般社団法人 日本真空学会　講演・研究会企画委員会（産総研）　中村 健
                                    　　　　　同　編集委員会　（広島工大）　田中 武