日本真空学会　機能薄膜部会　ナノ構造機能創成専門部会
第４回研究会　＜薄膜ナノ構造制御と機能性の創成＞

  機能薄膜部会　ナノ構造機能創成専門部会の第４回研究会を来る12月15日（火）に，下記の内容で開催したいと存じます．
  今回の研究会では，本研究会で取り組んでいる真空プロセスとは全く異なる溶液中での電気化学現象を利用した薄膜のナノ構造制御と機能創成について，早稲田大学の本間敬之先生に講演いただきます．さらに本専門部会の会員の皆さんが取り組んでいるスパッタ成膜プロセスなどに関する研究についても紹介いただき，今後の研究会活動で目指すべき目標について検討・議論する機会としたいと存じますので奮って御参加いただきたく存じます．

主催：一般社団法人 日本真空学会　機能薄膜部会　ナノ構造機能創成専門部会
                                                                                                   委員長 東京工芸大学 　星　陽一
                                                                                                   幹　事 東京工業大学　 中川　茂樹

日時：平成27年12月15日（火）　13：25 ～ 17：00
場所：東京工芸大学　中野キャンパス　1号館1階　1101教室
        交通アクセス：　http://www.t-kougei.ac.jp/guide/campus/#nakano

プログラム:
13:25～13:30　開会の挨拶                                                          　委員長　東京工芸大学　教授　星　陽一
 
13:30～14:30　「電気化学的手法による機能マイクロ・ナノ構造およびデバイスの構築：反応機構解析と新規プロセス開発」
                                                                                       早稲田大学先進理工学部　教授　本間　敬之
 
14:30～15:20　「低ダメージスパッタ製膜法による有機EL素子作製プロセスの検討」
                                                                                              東京工芸大学工学部　教授　星　陽一
 
15:20～15:30　休憩
 
15:30～16:10　「NFTS技術による高速反応性スパッタの展望」
                                                             株式会社エフ・ティ・エス　コーポレーション　代表取締役　門倉　貞夫
 
16:10～16:50　「メタモードスパッタ装置」                                       株式会社オプトラン　技術開発部　並木　恵一
 
16:50～17:00　閉会の挨拶　                                                          幹事　東京工業大学 教授　中川　茂樹
 
（研究会終了後，懇親会を予定しています．）                                                                             【敬称略】
 

参加費（資料代）：当日受付にてお支払いください．

 
申込方法：申込みは終了しました．
 
問合せ先：ナノ構造機能創成専門部会　幹事　中川　茂樹
            東京工業大学　電子物理工学科　教授(工学博士）
            TEL：03-5734-3564　　E-mail：nakagawa@pe.titech.ac.jp