真空夏季大学真空応用技術講座

　日本真空学会が半世紀にわたって開催して参りました真空夏季大学は，真空工学の基礎を系統的に学ぶことのできる場として高い評価をいただいております．しかしながら時間的制約のために，真空夏季大学のカリキュラムの中により発展的な分野・応用分野を取り入れることは困難な状況であり，日本真空学会会員や真空夏季大学受講生の皆様からは，応用技術分野についての講義に対するご要望をいただいておりました．
　このようなご要望にお応えするため，2006年より真空応用技術講座を企画・開講して参りました．この講座では，それぞれの分野の基本の理解を深めるとともに，実践のための実力を養うことを目的として，少人数によるセミナー形式の講義を実施しております．本年度も「真空夏季大学」の終了後，下記の二講座を並行して開講いたします．

　（A） ｢プロセスプラズマの基礎｣　　岡本幸雄講師（東洋大学名誉教授）
　プラズマを用いた次世代のエッチングやデポジションなどのプラズマプロセスにおいては，制御された低温・高密度・高均一・大面積などの特性をもつたプラズマが必要になっている．このためには，プラズマの基本的な性質をはじめその生成法や制御法および診断法などの基本的なことを理解していることが不可欠となる．
　本講座では，①プラズマの基本的な事柄であるプラズマの性質，デバイ長やプラズマ周波数などの基本的な物理量，電磁界中の荷電粒子の運動，イオンシース，負イオン，ラジカルについて簡単に復習するとともに，②プロセスに用いられている各種プラズマ（容量と誘導結合，電子サイクロトロン，表面波，マグネトロン，大気圧バリア放電，マイクロプラズマ）の生成原理と実際および長所と課題について，そして，③プロセスで不可欠なラジカルなどの生成・制御のための電子温度の制御法について，さらに，④ラジカルや電子のエネルギー分布などプラズマの主な計測法について解説する．

　（B）「真空システム」　　高橋主人講師（大島商船高等専門学校）
　実用真空システムにおける課題に，立上げ時間（真空排気）の短縮が挙げられる．短時間で真空排気するには水分子の挙動を理解し制御する必要がある．さらに，大気から真空環境まで試料を搬送する過程においても，水分子を考慮した真空排気が必要になる．超高真空システムでは，水分子はほぼ除去され材料内部のガス分子を排気することになる．これらの現象は吸着・吸蔵ガスの除去に関連した真空容器表面の清浄化であり，実例を挙げて紹介する．半導体などの製造装置では微粒子（異物）の低減も重要な課題である．真空中の微粒子の挙動について紹介するとともに，金属汚染や異物低減の観点から見た材料表面の清浄化について解説する．

　これらの分野を基礎から研鑽したいと希望しておられる技術者・研究者の方々に是非ご参加頂きたく，ご案内申し上げます．真空夏季大学修了の方々には，引き続きこの応用技術講座の受講をご検討ください．また，日帰りにて応用技術講座のみを受講される方も歓迎いたします．

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日　　時：　2016年9月2日（金） 13:00～16:15

会　　場：　ヤマハリゾートつま恋
　　　　　　　〒436-0011 静岡県掛川市満水2000 　Tel：0537-24-1111　　http://www.tsumagoi.net

受 講 料：　各講義とも共通です．（資料代・消費税込）
　　　　　　　（1） 一般　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　20,000円　
　　　　　　　（2） 日本真空学会法人会員に属する個人　　　　　15,000円
　　　　　　　（3） 真空夏季大学協賛団体会員に属する個人　　15,000円　
　　　　　　　（4） 日本真空学会個人会員　　　　　　　　　　　　　12,000円　
　　　　　　　（5） 日本真空学会学生会員　　　　　　　　　　　　　10,000円

申込方法：　申込みは終了しました．

申込締切：　2016年7月29日（金）　2016年8月19日（金）

定　 　 員：　各講義とも20名（先着順にて定員に達し次第締め切ります．）

問合せ先：　一般社団法人日本真空学会
　　　　　　　　〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
　　　　　　　　TEL：03-3431-4395　FAX：03-3433-5371
　　　　　　　　E-mail：ofc-vsj@vacuum-jp.org