日本真空学会　機能薄膜部会　ナノ構造機能創成専門部会
第6回研究会　＜薄膜ナノ構造制御と機能性の創成＞

　機能薄膜部会 ナノ構造機能創成専門部会の第6回研究会を来る11月18日（金）に，下記の内容で開催したいと存じます．本専門部会では薄膜のナノ構造と期待される新規の物性，及びそれら集合体の制御法・作製法の開発，ナノ構造や表面・界面の評価のための測定法の開発などの研究を皆さんと力を合わせて盛り上げて行きたいと存じますので奮って御参加いただきたく存じます．
　活発な議論ができる機会となることを期待しております．

主　催：　一般社団法人日本真空学会　機能薄膜部会　ナノ構造機能創成専門部会

日　時：　2016年11月18日（金）　13:30 ～ 16:30

場　所：　東京工業大学　大岡山南3号館2階201号室（電気情報系第1会議室）
　　　　　　東京都目黒区大岡山2-12-1　アクセス

プログラム：
13:30～13:35　　開会挨拶　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　委員長　東京工芸大学　　星　陽一

13:35～14:35　　「プリンテッドエレクトロニクスの現状と将来展望」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 産業技術総合研究所　フレキシブルエレクトロニクス研究センター　牛島 洋史

14:35～15:35　　「マグネトロンスパッタにおける基礎過程：粒子輸送・膜厚分布およびエロージョン形成」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　成蹊大学　理工学部　物質生命理工学科　中野 武雄

15:35～15:50　　休憩

15:50～16:30　　「有機EL素子用上部電極膜作製技術としてのスパッタ法と蒸着法の違い」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　東京工芸大学　工学部　星 陽一

※ 研究会終了後，参加者の懇親をかねて交流会を開催いたします．
　　ご参加のほどよろしくお願いいたします．

参加費（資料代）： 当日会場にてお支払いください．
　　　　　　　　　　　　 機能薄膜部会委員：　無料
　　　　　　　　　　　　 日本真空学会会員：　1,000円
　　　　　　　　　　　　 学生： 　無料
　　　　　　　　　　　　 非会員：　2,000円

申込み先：　申込みは終了しました．

問合せ先：　ナノ構造機能創成専門部会　幹事　中川 茂樹
　　　　　　　　東京工業大学　工学院　電気電子系
　　　　　　　　TEL：03-5734-3564　　E-mail：nakagawa@ee.e.titech.ac.jp