日本真空学会　機能薄膜部会　ナノ構造機能創成専門部会
第７回研究会　＜HiPIMSプラズマプロセスと薄膜＞

 
　機能薄膜部会，ナノ構造機能創成専門部会の第7回研究会を来る6月29日（木）に，下記のように開催いたします．近年プラズマプロセスとして注目されているHiPIMS（High Power Impulse Magnetron Sputtering）プラズマに関する話題を特集した内容といたしました．本研究会では新たなプロセスの制御やその特性が薄膜のナノ構造制御や機能性に与える影響なども含めて議論していければと思います．活発な議論ができる機会となることを期待しておりますので，奮って御参加いただければと存じます．

主　催

一般社団法人日本真空学会 機能薄膜部会 ナノ構造機能創成専門部会

日　時

2017年6月29日（木） 13:30～17:05

場　所

東京工業大学　大岡山南3号館2階201号室（電気情報系第1会議室）　交通アクセス
〒152-8550 東京都目黒区大岡山2-12-1　

プログラム

13:30～13:35　開会挨拶委員長　東京工業大学　中川 茂樹

13:35～14:15　「DLC薄膜の医療デバイスへの応用とHiPIMSプラズマ源の新展開」岡山理科大学　中谷 達行

14:15～14:55　「大電力パルススパッタ放電による高電離金属プラズマの形成」兵庫県立大学　東　 欣吾

14:55～15:35　「異なるタ－ゲット構造を持つHPPS放電プラズマの生成と硬質膜の作製」名古屋工業大学　木村 高志

15:35～15:45　休憩

15:45～16:25　「Advanced MF and HIPIMS Pulsed Power Supply」
Applied Optivac Technology, Inc　　Robert Jann

 

16:25～17:05　「HiPIMS法による立方晶TiAlN硬質膜の低温形成とその残留応力制御」首都大学東京　清水 徹英

参加費（資料代）　※当日会場にてお支払いください．

機能薄膜部会委員	無　料
日本真空学会会員	1,000円
学　生	無　料
非会員	2,000円

　（研究会終了後，懇親会を開催する予定です．そちらにも奮って参加ください．）

申込方法

申込みは終了しました．

問合せ先

ナノ構造機能創成専門部会 委員長 中川 茂樹
東京工業大学 工学院 電気電子系
TEL： 03-5734-3564　　E-mail： nakagawa@ee.e.titech.ac.jp

本件担当

ナノ構造機能創成専門部会　幹事　アーステック 小島 啓安，幹事　首都大学東京 清水 徹英