日本表面真空学会 2018年6月研究例会
主題「真空関連技術のための四重極質量分析計の基礎と応用」

　真空容器内に，どのような気体がどれくらい存在するかを測定すること，即ち“全圧”だけでなく，真空の質を示す“分圧”を測定することは，真空容器内の現象を正確に理解する上で不可欠です．そのために，四重極質量分析計（残留ガス分析計とも呼ばれます）が広く利用されています．測定圧力範囲は，測定圧力の上限が1Pa以上のものや，最小検知分圧が10^-12Pa以下のものもございます．
　一方で，四重極質量分析計は，全圧を測定する真空計に比べて，操作や測定データの解釈に習熟を要すると言われております．そこで今回は，電子衝撃を利用した四重極質量分析計について，その基本原理を振り返るとともに，活用方法や新技術について，ご講演頂きます．
　また今回は，4月に(一社)日本真空学会と(公社)日本表面科学会が合併し，(公社)日本表面真空学会が発足して，初めての研究例会となります．質量分析計の技術や真空容器内の残留ガスの問題は，表面科学・分析においても関連が強いテーマです．本研究会が，四重極質量分析計や残留ガス分析における，現在の課題や近未来に求められる技術について議論する機会となることを願っております．
　講演会終了後，同じ会場内でフリーディスカッションとしてご講演者と密にコミュニケーションを取ることのできる場を設けていますので，併せてご参加ください．
 

日　時

2018年6月6日（水） 13:00～18:00（受付12:30～）

場　所

機械振興会館 地下3階 B3-1号室　交通アクセス
東京都港区芝公園3−5−8

協　賛

(一社)日本真空工業会，(一社)日本質量分析学会

講演プログラム

開会の挨拶（日本表面真空学会）　後藤 康仁　13:00～13:05

四重極質量分析計の基礎（キヤノンアネルバ(株)）　中村 　恵　13:05～13:35

四重極質量分析計の基本特性の定義と評価方法の国際標準化（産業技術総合研究所）　吉田 　肇　13:35～14:05

残留ガス質量分析計の性能を引き出すには（高エネルギー加速器研究機構）　加藤 茂樹　14:05～14:35

質量分析計Quleeシリーズ（(株)アルバック）　中島 豊昭　14:35～15:05

 

休憩 15:05～15:20

 
 

小型質量分析計（(株)堀場エステック）　笹井 浩平　15:20～15:50

小型質量分析計システムとその応用（アトナープ(株)）　髙橋 直樹，佐藤　 武，大石 康年　15:50～16:20

低放出ガス質量分析計（東京電子(株)）　岸川 信介　16:20～16:50

質量分析計を用いた材料分析の実施例（日本電子(株)）　岡野 　誠　16:50～17:20

挨拶（日本表面真空学会）　後藤 康仁　17:20～17:25

フリーディスカッション17:25～18:00

 

参加費（消費税込）　当日会場にてお支払いください．

日本表面真空学会会員	3,000円（予稿集代を含む）
日本真空工業会会員	3,000円（予稿集代を含む）
日本質量分析学会会員	3,000円（予稿集代を含む）
非会員	5,000円（予稿集代を含む）
学　生	無　料（予稿集代1,000円）

参加定員

45名（定員に達し次第締め切り）

申込方法

定員に達したため申込みは終了しました．

問合せ先

公益社団法人日本表面真空学会 事務局
TEL： 03-6801-6264　　FAX： 03-3812-2897　　E-mail： ofc-vsj＠vacuum-jp.org

本件担当

公益社団法人日本表面真空学会　髙橋 直樹，吉田　肇