スクールコース
ディスプレイ，半導体産業，成膜，表面分析のための超高真空技術

主　催

公益社団法人日本表面真空学会関西支部

日　時

2018年8月24日（金）　16:50～18:20

場　所

大阪電気通信大学 駅前キャンパス （京阪本線 寝屋川市駅 徒歩3分） 交通アクセス
〒572-0837 大阪府寝屋川市早子町12-16　TEL： 072-824-8900　FAX： 072-824-8903

参加のおすすめ

フラットパネルディスプレイ，半導体産業などの分野では，製品の歩留まりを改善するために超高真空技術が不可欠です．また，成膜関連分野でも薄膜の品質を上げるために超高真空仕様装置が必要です．例えば，高純度の窒化膜を作製するためには成膜装置内の水蒸気（H₂O）の分圧を下げなくてはなりません．また，表面分析関連分野では試料の汚染を防ぐために超高真空が必要です．そこで本スクールコースでは，超高真空装置を製作，改良する上で必要な知識とノウハウを，具体的に丁寧に説明します．フラットパネルディスプレイ，半導体，成膜，表面分析関連分野のメーカーに勤務されている方，装置製作，装置改良の技術をさらに磨きたいと考えておられる方は是非受講ください．
なお，本講座は2018年8月23日（木）24日（金）に開催される第10回役に立つ真空技術入門講座の最終日に開催されます．

参加費（テキスト代，消費税込）

日本表面真空学会個人正会員	￥2,000
日本表面真空学会法人正会員に所属する個人	￥2,000
日本表面真空学会維持会員に所属する個人	￥2,000
日本表面真空学会賛助会員に所属する個人	￥2,000
非会員，一般	￥3,000
学生	￥0

テキスト

講義で使用するPPTファイルを印刷したもの

定　員

50名

申込方法

申込みは終了しました．

申込締切

2017年8月3日（金） 申込期限を延長しました．定員に達するまで受け付けます．
（当日参加も受け付けます．8月4日以降にお申込みの方は当日受付にて参加費をお支払いください．）

講　師

杉本 敏樹（分子科学研究所）

問合せ先

公益社団法人日本表面真空学会関西支部 役に立つ真空技術入門講座事務局
杉本 繁司（株式会社大阪真空機器製作所）
E-mail： shinku-kansai@prec.eng.osaka-u.ac.jp

講義

テーマ	内　容
ディスプレイ，半導体産業，成膜，表面分析のための 超高真空技術（1時間30分）	1.超高真空技術の基礎 2.超高真空材料 3.超高真空達成のための真空ポンプと真空計 4.超高真空装置製作技術 5.安全，環境保全，省エネルギー