2018真空展 スクールコース
「薄膜の基本技術講座」
―プラズマプロセスによるダイヤモンドライクカーボン薄膜堆積の基礎とその応用―

日　時

2018年9月6日（木） 12:30～14:30

会　場

パシフィコ横浜　展示ホール2階　会議室 E204号室　交通アクセス
（〒220-0012 神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1）

主　催

公益社団法人日本表面真空学会

参加のおすすめ

プラズマを使用した成膜技術は真空工学の最も重要な産業応用です．プラズマを使用するとダイヤモンドライクカーボン膜を成膜することが可能で，機械材料・要素の接触表面に低摩擦，耐摩耗，低付着などの優れた機械的応答特性を付与できます．今回，プラズマを使用したCVD法やPVD法によるダイヤモンドライクカーボン成膜の基礎を紹介します．また，トライボロジーなど優れた機械的応答特性に繋がる高い機能性を有する表面特性を紹介します．

講　師

上坂裕之（岐阜大学 工学部 機械工学科 教授・地域連携スマート金型技術研究センター 兼務）

講義内容（講義2時間，休憩，質疑を含む）

1．プラズマの基礎
2．ダイヤモンドライクカーボン材料の基礎
3．ダイヤモンドライクカーボン薄膜の成膜方法（CVDおよびPVD）
4．カーボン薄膜の応用（トライボロジーなど）
5．先進成膜事例

聴講料（テキスト代・消費税込）

一般 5,000円，学生 1,000円
※聴講料は当日会議室E204号室前受付にてお支払いください．

テキスト

講義で使用するPPTファイルを1ページ4スライドでモノクロ印刷したもの．

定　員

54名（定員になり次第締切とさせていただきます）

申込方法

申込みは終了しました．

申込締切

2018年9月3日（月）
※余席があれば当日参加も受け付けます．
　会議室E204号室前の受付までお越しください．

問合せ先

公益社団法人日本表面真空学会 事務局
TEL: 03-3812-0266　　FAX: 03-3812-2897　　E-mail: office@jvss.jp