スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）
第155回定例研究会
テーマ：「固体材料および薄膜中のプロトンの移動」

　水素は超高真空領域での真空システムの到達圧力を決定づけるガスであり，真空科学にとって，表面および固体中での水素の挙動は古くから重要な問題であり続けてきました．しかしながら，水素の定量を行える分析手法は限られており，この問題へのアプローチを困難なものとしていました．
　一方，近年になって，固体中の水素（プロトン）の出し入れによって物性を制御できる材料系が次々と提案・実用化され，またエネルギー応用に関連した，水素と固体との相互作用も精力的に研究されるようになってきました．
　これらの背景をうけて，本研究会では水素を利用したデバイスや応用，水素の定量あるいは排気などに関して，第一線の研究者の方々に，研究開発の内容を紹介していただく機会を設けることとしました．今回は，年に一度の，参加費を安く設定している研究会でもあります．本分野に興味を持つ多くの皆様のご参加を心よりお待ちしております．

日　時

2017年10月31日（火）　13:00～16:40 （受付12:30～）

場　所

機械振興会館　地下3階 B3-1号室　（東京都港区芝公園3-5-8）　交通アクセス

講演プログラム

調光ミラーの実用化に向けて（産総研　構造材料研究部門）　○山田保誠　13:00～13:40
 
含水多孔質ガラスを用いたオンデマンド赤外線透過率－導電率制御デバイス13:40～14:20
（東工大フロンティア研¹，JSTさきがけ²，北大電子研³）　○片瀬貴義^1,2，太田裕道³
 
窒化チタン微結晶膜におけるヒドリドイオン伝導の発現とそれによる常温水素膜分離14:20～15:00
（北大工¹，北大総合化学院²）○青木芳尚¹，倉　千晴²，國貞雄二¹，朱　春宇¹，幅崎浩樹¹
 

休憩　（15:00～15:20）

金属薄膜からの水素透過イメージング15:20～16:00
（物材機構¹，東邦大²）　○宮内直弥¹，村瀬義治¹，板倉明子¹，高木祥示²
 
無酸素Pd/Ti薄膜を利用した高真空～超高真空領域における真空排気16:00～16:40
（総研大物構¹，弘前大院理工²，横国大院工³，KEK物構研⁴）
宮澤徹也¹，飛嶋健佑²，夏井祐人²，寺島　矢²，加藤博雄²，栗原真志³，大野真也³，菊地貴司⁴，○間瀬一彦⁴

 

参加費　※当日受付にてお支払いください．

SP部会員	無料
日本真空学会会員	3,000円
学生	1,000円
一般	5,000円

申込方法

申込みは終了しました．

問合せ先

一般社団法人日本真空学会 事務局
TEL： 03-3431-4395　　FAX： 03-3433-5371　　E-mail： ofc-vsj＠vacuum-jp.org