日本表面真空学会 産学連携委員会
平成30年11月例会（第301回）

　当委員会の例会は，大学や公的研究機関からと企業からの2名の講師を招いて真空技術に係わる話題を講演していただくことを基本形として開催しています．11月例会は，真空ポンプの話題をテーマに開催いたします．高エネルギー加速器研究機構の間瀬先生にはゲッターポンプについて，特に，最近開発された新規で工夫された構成の非蒸発型ゲッターポンプについて講演をいただきます．そして，企業からは，ドライポンプ製造大手の(株)荏原製作所より講師を派遣していただきました．塩川篤志様には荏原製作所のドライポンプの歴史を含めた機能，性能について講演していただきます．2講演とも非常に興味深い内容です．皆さま多数のご参加をお待ちいたします．

日　時

平成30年（2018年）11月7日（水） 14:00～16:30（受付13:30～）

場　所

機械振興会館　地下3階　B3-1号室 （東京都港区芝公園3-5-8／東京タワー前） 交通アクセス

参加費

無　料

プログラム

開会挨拶（日本表面真空学会 産学連携委員会 副委員長）入江 則裕　14:00～14:10

1．半導体製造プロセスとドライ真空ポンプに要求される機能の変遷
（株式会社荏原製作所 精密・電子事業カンパニー 精密機器事業部 精密機器技術部長）塩川 篤志　14:10～15:10
［講演要旨］
当社は1980年代後半より，主に半導体製造装置向けのドライ真空ポンプを販売してきた．
半導体製造プロセスの進歩に伴い，ドライ真空ポンプに必要とされる機能に関しても，様々な変遷がある．当社の製品群とその機能の移り変わりを紹介する．

休 憩 （15:10～15:30）

2．無酸素Pd/Ti成膜を利用した非蒸発型ゲッターコーティング，非蒸発型ゲッターポンプの開発
（高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所 准教授）間瀬 一彦　15:30～16:30

［講演要旨］
我々は無酸素パラジウム/チタン（Pd/Ti）薄膜を利用した新しい非蒸発型ゲッターコーティングを開発した．大気曝露と活性化を繰り返しても排気性能が低下せず，活性化温度が150℃程度と低いことが特長である．無酸素Pd/Ti成膜した真空容器は150℃，3時間のベークにより，排気開始から5時間程度で10-⁸Pa台に到達することを確認した．また，Pd/Ti成膜を利用した非蒸発型ゲッターポンプを開発した．

講演終了後，交流会を開催します．相互の情報交換，講師との懇談など，有意義なディスカッションができますので，こちらにも多数ご参加ください．

時間： 講演終了後～18:30
場所：「うすい」（機械振興会館 地下3階）
会費： 3,000円