日本表面真空学会 2019年1月研究例会
主題「表面改質や被覆による真空材料の高性能化」

　真空装置に用いられる真空用材料としては，容器用材料や機械系部品材料ではステンレス鋼が，また，非蒸発真空排気材にはチタン等が用いられていますが，真空環境の圧力安定化やクリーン化，さらに，格段の性能向上をはかるためには，材料表面層に酸化膜作製や蒸着法を用いた表面被覆が行われております．そこで，本研究例会では，低ガス放出化表面クリーン技術や表面層酸化処理，ならびに，ゲッタ特性の被覆による真空排気性能の向上，また，表面層改質や被覆による超伝導加速性能の向上，さらに，被覆による真空潤滑性能の向上等，表面層改質や被覆による真空用材料の高性能化について，第一線の研究者の方々によりご講演いただき，真空材料の高性能化について議論の機会を設けました．真空分野に関わる皆様の多数のご参加をお持ちいたします．
 

日　時

2019年1月30日（水） 13:00～16:45（受付12:40～）

会　場

機械振興会館　地下3階 B3-1号室　交通アクセス
東京都港区芝公園3−5−8

協　賛

一般社団法人日本真空工業会，日本放射光学会，日本材料科学会，TIAかけはし

講演プログラム

開会の挨拶（日本表面真空学会 研究例会企画専門部会）　後藤　康仁　13:00～13:05

真空容器内壁の高精密表面処理（(株)アルバック）　稲吉さかえ　13:05～13:45

BN表面析出による真空容器の低ガス放出化（物質・材料研究機構）　土佐　正弘　13:45～14:25

マグネトロンスパッタによるTi-Zr-V系NEGコーティング（高エネルギー加速器研究機構）　谷本　育律　14:25～15:05

 

休憩 15:05～15:20

 

超伝導加速空洞のプラズマ励起原子層被覆（高エネルギー加速器研究機構）　加藤　茂樹　15:20～16:00

超高真空対応二硫化モリブデン固体潤滑膜（(株)トヤマ）　丸山　敏征　16:00～16:40

閉会の挨拶（日本表面真空学会 研究例会企画専門部会）　土佐　正弘　16:40～16:45

 

参加費（消費税込）　当日会場にてお支払いください．

日本表面真空学会個人正会員，法人正会員，維持会員，賛助会員	3,000円（予稿集代を含む）
協賛学協会会員	3,000円（予稿集代を含む）
非会員	5,000円（予稿集代を含む）
学　生	無　料（予稿集代1,000円）

申込方法

申込みは終了しました．

問合せ先

公益社団法人日本表面真空学会 事務局
TEL： 03-6801-6264　　FAX： 03-3812-2897　　E-mail： office@jvss.jp

本件担当

公益社団法人日本表面真空学会 研究例会企画専門部会 （AGC）前重和伸，（NIMS）土佐正弘