日本表面真空学会 2019年6月研究例会
主題「電子ビーム技術の新展開」

　電子ビーム技術は，電子ビーム蒸着や材料改質，電子顕微鏡や表面分析などの分析技術，大電力電子デバイスなどに広く用いられています．最近では高輝度電子源の開発，微細加工を利用して作る微小電子源の性能向上などにより，従来の熱陰極の置き換えにとどまらず，新しい分野における電子ビーム技術の導入に期待する声も聞かれます．本研究例会では，高性能の電子ビーム装置開発に携わる研究者と電子ビームを用いた分析，デバイス開発に期待を寄せる研究者を講師としてお招きしました．シーズとニーズを併せて議論することのできる貴重な研究例会となりますので，皆様奮ってご参加ください．
 

日　時

2019年6月25日（火） 13:00～17:00（受付12:30～）

会　場

東北大学多元物質科学研究所 西2号館（科研N棟）3Fセミナー室　交通アクセス
〒980-8577 仙台市青葉区片平二丁目1-1

共　催

物質・デバイス領域共同研究拠点　人・環境と物質をつなぐイノベーション創出ダイナミック・アライアンス

協　賛

応用物理学会東北支部

講演プログラム

開会の挨拶（日本表面真空学会 東北・北海道支部長） 虻川　匡司　13:00～13:05

高性能電子源の開発と広がる応用技術（産業技術総合研究所） 長尾　昌善　13:05～13:45

走査電子顕微鏡用高輝度電子源（筑波大学） 早田　康成　13:45～14:25

休憩 14:25～14:40

時間空間分解カソードルミネッセンスによるワイドバンドギャップ半導体の局所発光ダイナミクス評価
（東北大学） 秩父　重英　14:40～15:20

 
電子衝突で挑む分子科学（東北大学） 髙橋　正彦　15:20～16:00

閉会の挨拶（日本表面真空学会 研究例会企画専門部会） 後藤　康仁　16:00～16:05

見学会： 東北大学多元物質科学研究所16:10～17:00

 

参加費（消費税込）　当日会場にてお支払いください．

日本表面真空学会個人正会員，法人正会員，維持会員，賛助会員	3,000円（予稿集代を含む）
協賛学会会員	3,000円（予稿集代を含む）
非会員	5,000円（予稿集代を含む）
学　生	無　料（予稿集代1,000円）

申込締切

2019年6月20日（木）　

申込方法

申込みは終了しました． ※余席がありますので当日参加も受付けます．会場受付までお越しください．

問合せ先

公益社団法人日本表面真空学会 事務局
TEL： 03-3812-0266　　FAX： 03-3812-2897　　E-mail： office@jvss.jp

本件担当

公益社団法人日本表面真空学会 研究例会企画専門部会 （京都大学） 後藤　康仁