日本真空学会東海支部　2月研究例会
「真空技術が支える最先端ナノテクノロジー」

 
  半導体技術の発展と共にナノテクノロジーが進歩し，その結果，現在の情報通信化社会が構築されてきたことは周知の事実である．ナノサイズという極限まで小さい領域を加工するためには，非常にきれいな空間を支えるための真空技術も必要であり，化学反応制御と共にナノテクノロジーを支える基盤技術となってきた．また，実用技術であるナノテクノロジーでは，広く使われるために標準化が必須である．本研究例会では，最先端の微細加工を目指したナノテクノロジーと国際標準化に関するご講演を予定しています．皆様の奮ってのご参加をお待ちしています．

主　催：　日本真空学会東海支部
協　賛：　応用物理学会東海支部，日本表面科学会中部支部

日　時：　2016年2月8日（月）　15：00～16：50
会　場：　中部大学名古屋キャンパス　505室　（愛知県名古屋市中区千代田5-14-22）
　　　　　　会場アクセス http://www3.chubu.ac.jp/about/location
　　　　　　JR中央本線「鶴舞」駅名大病院口（北口）下車すぐ，又は，地下鉄「鶴舞」駅下車北へ約100メートル

参加費：　（当日会場にてお支払いください）
　　　　　　日本真空学会会員，協賛学会会員　　　無料
　　　　　　非会員　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 1,500円
　　　　　　学　生　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　無料
　　　　　　懇親会　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 4,000円（予定）
　　　　　　※参加申込時に，懇親会への出欠をご連絡ください．

申込・問合先：
　　　　　　申込締切：　2月1日（月）
　　　　　　日本真空学会東海支部　支部長　河原 敏男（E-mail:toshi@isc.chubu.ac.jp）

プログラム：

15：00～15：05 　開会挨拶　　　　　　　　　　　　　　　　　　　河原 敏男　（日本真空学会東海支部　支部長　中部大学 教授）
 
15：05～15：55　「ナノ極限ファブリケーション」　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　吉田 陽一　（大阪大学 教授）
 
15：55～16：45　「ナノテクノロジーの国際標準化の現状と動向」　　　　　　　　　　　　　　　　一村 信吾　（名古屋大学　教授）
 
16：45～16：50 　閉会挨拶
 
17：10～　　　　　　懇親会