実習を主にした・初級者のための
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日 程 | テーマ | 内 容 |
5/24(火) | 真空の基礎(講義) | 真空とは何か.その特徴を知るとともに,真空技術の全般的な知識を修得するために,気体分子運動論を中心とした真空の基本的な事柄を解説する. |
所内見学 | 大阪府立産業技術総合研究所の真空関連装置の見学. | |
真空ポンプ(講義) | 大気圧から高真空を得るのに使用される各種ポンプの性能,特徴および使用法について解説する. | |
真空系の構成(講義) | 真空系構成の基本的概念をはじめ,真空装置の構成上の検討事項を述べ,ポンプの構成と排気速度の関係ならびに構成に要する部品について解説する. | |
5/25(水) | 真空計測(講義) | 真空計の種類,動作原理,使用方法の基本と注意を述べるとともに,それぞれによって異なる測定方法を解説する. |
リークテスト (講義) |
漏れ試験の諸方法について述べるとともに,漏れ試験の基礎知識としてのリークの単位,大きさ,動特性やリークの時定数などについて解説する. | |
目で見る真空技術 (実習) |
真空装置,部品等の実機,デモ機,カットモデルを用いて,真空についての理解を深める. | |
低真空の排気と基礎 (実習) |
低真空領域の排気速度の測定や,各種真空計を用いて圧力を測定し,それぞれの特徴や使用法について学ぶ. | |
5/26(木) | 真空応用技術(講義) | 真空技術は広範囲な産業分野に利用されており,本講では身近な応用例から薄膜形成技術まで,様々な応用技術について解説する. |
真空用材料(講義) | 真空装置を構成する材料の諸性質を解説し,それらと真空との関係や,使用に際しての注意などについての基礎的知識を述べる. | |
高真空領域での排気速度の測定(実習) | テストドームを使用して高真空領域の排気速度を測定する.また,各種流量計について学ぶ. | |
リークテスト(実習) | ヘリウムリークディテクタと模擬ワークを用いて,漏れ探しを実習する. | |
高真空領域での分圧測定(実習) | 四重極質量分析計を用いて,残留ガスの分圧を測定する. | |
簡単な真空応用技術(実習) | 真空蒸着,スパッタ装置のデモを通して,真空を利用した装置について学ぶ. | |
5/27(金) | 真空機器の保守点検(講義) | 低真空領域に使用する真空ポンプ等の保守点検,使用上の注意などの他,真空機器全般のトラブルや安全対策を,事例を交えて解説する. |
演習 | 本講習会の講義・実習に沿って作成した問題を受講生自身が解き,その解答,解説を行うことで講習内容の理解を深める. | |
パネルディスカッション | 会期中に座学,実習いずれについても疑問点を質問書で投函していただき,それらへの各講師からの回答を中心に行う. |
※日程,内容について,一部変更があるかもしれません.