日本真空学会 産学連携委員会
平成29年3月例会（第291回）

　当委員会3月例会では，1月例会（1月25日開催）に続き，真空計と標準化をテーマとしました．産業界からは耐久性に優れるサファイアを隔膜とする真空計を開発されたアズビル株式会社から長田様を講師としてお招きし，その製作方法や性能の紹介をして頂きます．次に，ISO/TC201（Surface chemical analysis）の委員長である産総研の野中先生に表面化学分析の国際標準化について解説をして頂きます．皆さま多数のご参加をお待ちします．

日　 時：　平成29年（2017年）3月7日（火） 14：00～16：30
場　 所：　機械振興会館（東京都港区芝公園3-5-8 東京タワー前）　B3-2号室（地下3階） 交通アクセス
参加費：　無料

プログラム：
開会挨拶　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 （日本真空学会 産学連携委員会 委員長）　入江 則裕　14:00～14:10

1．サファイア隔膜真空計の開発　　 　　 　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 14:10～15:10
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 （アズビル株式会社 技術開発本部 技師長，工学博士）　長田 光彦
　　　　［講演要旨］
　　　　アズビル株式会社では感圧部に工業用サファイアを用いた隔膜真空計を製品化した．工業用サファイアは繰り返し再現
　　　　性、腐食ガスに対する耐食性に優れ，主として半導体プロセス向けに採用が進んでいる．本講演ではマイクロマシニング
　　　　技術を応用して製作されている本真空計の特長と概要に関して述べる．

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　休 憩 （15:10～15:30）

2．表面化学分析における国際標準化－ISO/TC201の活動の紹介 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　15:30～16:30
　　（国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター 分析計測標準研究部門 研究部門長）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　野中 秀彦
　　　　［講演要旨］
　　　　昨今の産業のグローバル化に伴い国際標準化の重要性が注目されている．しかし，国際標準の提案者や審議員などの
　　　　当事者とならない限り，実際の開発の様子をうかがい知る機会はあまりないと思われる．ここでは，ISOの開発現場であ
　　　　るTC（専門委員会）の一つであるTC201（表面化学分析）の活動の紹介を兼ねて，国際標準を発行する組織や仕組み，
　　　　開発の手順などについて述べる．
 
講演終了後，交流会を開催します．
相互の情報交換，講師との懇談など，有意義なディスカッションができますので，こちらにも多数ご参加ください．
　　　　時間： 講演終了後～18:30
　　　　場所： 「うすい」（機械振興会館地下3F）
　　　　会費： 3,000円

申込方法：　申込みは終了しました．

問合せ先：　一般社団法人 日本真空学会
　　　　　　　　TEL：03-3431-4395　FAX：03-3433-5371
　　　　　　　　E-mail：ofc-vsj@vacuum-jp.org
　　　　　　　　〒105-0011　東京都港区芝公園3-5-8　機械振興会館306号室