No. ISO No 規格の名称
- 1 ISO 1607/1
容積移送式真空ポンプの性能試験方法 Part1
《体積流量（排気速度）の測定》（JIS B 8316）
- 2 ISO 1607/2
容積移送式真空ポンプの性能試験方法 Part2
《到達圧力の測定》（JIS B 8316）
- 3 ISO 1608/1
蒸気噴射真空ポンプの性能試験方法 Part1
《体積流量（排気速度）の測定》（JIS B 8317）
- 4 ISO 1608/2
蒸気噴射真空ポンプの性能試験方法 Part2
《到達圧力の測定》（JIS B 8317）
- 5 ISO 1609
真空技術－フランジの形状・寸法（JIS 2290）
- 6 ISO 2861/1
真空技術－クイックレリース継手の形状・寸法 Part 1
《クランプ型継手》（JIS B 8365）
- 7 ISO 2861/2
真空技術－クイックレリース継手の形状・寸法 Part 2
《スクリュー型継手》（JIS B 8365）
- 8 ISO 3529/1
真空技術－用語 Part 1 《基礎用語》（JIS Z 8126）
- 9 ISO 3529/2
真空技術－用語 Part 2 《真空ポンプ関連用語》
（JIS Z 8126 ）
- 10 ISO 3529/3
真空技術－用語 Part 3 《真空計》（JIS Z 8126）
- 11 ISO 3530
質量分析計形リークディテクタ校正方法（JIS Z 8754）
- 12 ISO 3669
真空技術－ベーカブルフランジの形状・寸法
（JVIS 003）
- 13 ISO 3753
真空装置用図記号（JIS Z 8207）
- 14 ISO 9803
真空技術－配管継手－形状・寸法（JIS B 2293）
【各関連規格の概要】
1 ISO 1607/1 「容積移送式真空ポンプの性能試験方法 Part 1《体積流量
（排気速度）の測定》」
容積移送式真空ポンプ性能試験方法（排気速度の測定法）について規定した
ものです．
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2 ISO 1607/2 「容積移送式真空ポンプの性能試験方法 Part 2《到達圧力の
測定》」
容積移送式真空ポンプ性能試験方法（到達圧力の測定法）に
ついて規定したものです．
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3 ISO 1608/1 「蒸気噴射真空ポンプの性能試験方法 Part 1《体積流量
（排気速度）の測定》」
蒸気噴射真空ポンプの性能試験方法（排気速度の測定法）について規定したもの
です．
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4 ISO 1608/2 「蒸気噴射真空ポンプの性能試験方法 Part 2《到達圧力
の測定》」
蒸気噴射真空ポンプの性能試験方法（到達圧力，排の測定法）について規定した
ものです．
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5 ISO 1609 「真空技術－フランジの形状・寸法」
真空装置に用い
られるフランジの形状・寸法を規定したものです．
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6 ISO 2861/1 「真空技術－クイックレリース継手の形状・寸法 Part 1
《クランプ型継手》」
真空装置用クランプ形継手（クイックカップリ
ング）の形状及び寸法について規定したものです．
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7 ISO 2861/2 「真空技術－クイックレリース継手の形状・寸法 Part 2
《スクリュー型継手》」
真空装置用クランプ形継手（クイックカップ
リング）の形状及び寸法について規定したものです．
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8 ISO 3529/1 「真空技術－用語 Part 1 《基礎用語》」
真空技
術に関連してよく用いられる基礎用語の定義について規定したものです．物理量
の場合は，単位も示されています．
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9 ISO 3529/2 「真空技術－用語 Part 2 《真空ポンプ関連用語》」
真空技術に関連してよく用いられる真空ポンプに関連する用語の定義に
ついて規定したものです．
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10 ISO 3529/3 真空技術－用語 Part 3 《真空計》
真空技術に関
連してよく用いられる真空計測に関連する用語の定義について規定したものです．
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11 ISO 3530 質量分析計形リークディテクタ校正方法
質量分析計形
リークディテクタの校正方法について規定したものです．代表的なものは，ヘリ
ウム・リークディテクタです．
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12 ISO 3669 「真空技術－ベーカブルフランジの形状・寸法」
超高
真空装置に用いられるベーキング可能なフランジの形状・寸法について規定した
ものです．
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13 ISO 3753 「真空装置用図記号」
真空装置の系統図作成時によく
用いられる図記号の定義について規定したものです．
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14 ISO 9803 「真空技術－配管継手－形状・寸法」
真空装置に用
いられる配管継手（エルボ，ティー，クロス）の形状及び寸法について規定した
ものです．
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